[发明专利]化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 201110143089.3 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102211311A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 路新春;沈攀 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304;B25J1/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光设备，所述化学机械抛光设备包括：多个化学机械抛光机，所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆；机械手，所述机械手用于搬运晶圆；和过渡装置，所述过渡装置用于放置晶圆，其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。根据本发明实施例的化学机械抛光设备具有工作效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括：多个化学机械抛光机，所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆；机械手，所述机械手用于搬运晶圆；和过渡装置，所述过渡装置用于放置晶圆，其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110143089.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
