[发明专利]一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710702623.7 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107686982B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 孙丽丽;汪爱英;张栋;郭鹏;柯培玲;左潇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜，然后在惰性气体保护气氛中对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理。一方面双元金属掺杂和热处理能够提高薄膜的石墨化程度，降低薄膜表面能，另一方面，其中一种掺杂金属是与碳原子结合呈弱键特征的掺杂金属元素，在热处理条件下会发生析出并形成纳米团簇长大，从而能够在薄膜表面构筑微‑纳复合结构，使得薄膜具有超疏水性能。该方法简单高效、经济环保，具有良好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超疏水类金刚石薄膜的制备方法，其特征是：按下列步骤进行：(1)制备双元金属共掺杂的类金刚石薄膜；(2)在惰性气体保护气氛中，对该双元金属共掺杂的类金刚石薄膜进行热处理；所述双元金属共掺杂的类金刚石薄膜中，掺杂的金属元素为两种，一种是与碳原子结合呈弱键特征的掺杂金属元素，另一种是与碳原子结合呈强键特征的掺杂金属元素。
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