[发明专利]用于微电子器件的柔性加载测试装置在审
| 申请号： | 201710654087.8 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107505557A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李拉香格;李军辉;刘小鹤;何虎;朱文辉;彭启发 | 申请（专利权）人： | 中南大学;湖南建之达节能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙)43213 | 代理人： | 邓宇 |
| 地址： | 410083 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微电子器件的柔性加载测试装置，包括测试工具头和用于驱动测试工具头的往复运动的驱动机构，测试工具头通过一柔性加载组件与驱动机构的驱动端相连，柔性加载组件包括与测试工具头相连的滑轴以及与驱动机构相连的缸体，缸体具有一填充有磁流变液的内腔，滑轴贯穿内腔并与缸体滑动密封配合，滑轴上绕设有一组以上内线圈组，缸体的外部绕设有一组以上外线圈组，柔性加载组件还包括用于向各内线圈组和各外线圈组通入线性电流的电源，所有内线圈组和所有外线圈组的电流方向绕滑轴轴线相同。该柔性加载测试装置具有结构简单紧凑、响应灵敏、便于控制、加载无冲击、可提升测试精准性和可靠性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微电子 器件 柔性 加载 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种用于微电子器件的柔性加载测试装置，包括测试工具头（1）和用于驱动测试工具头（1）的往复运动的驱动机构（2），其特征在于：所述测试工具头（1）通过一柔性加载组件（3）与驱动机构（2）的驱动端相连，所述柔性加载组件（3）包括与测试工具头（1）相连的滑轴（31）以及与驱动机构（2）相连的缸体（32），所述缸体（32）具有一填充有磁流变液的内腔（321），所述滑轴（31）贯穿所述内腔（321）并与缸体（32）滑动密封配合，所述滑轴（31）上绕设有一组以上内线圈组（33），所述缸体（32）的外部绕设有一组以上外线圈组（34），所述柔性加载组件（3）还包括用于向各内线圈组（33）和各外线圈组（34）通入线性电流的电源（35），所有内线圈组（33）和所有外线圈组（34）的电流方向绕滑轴（31）轴线相同。
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