[发明专利]物料供给装置以及晶体生长系统

摘要

本发明公开的物料供给装置，用于向炉体内部的坩埚中供给物料，物料供给装置包括储料机构、振动输料机构和喂料机构，储料机构用于容纳物料且具有出料口，振动输料机构包括输料部和振动模组，输料部与所述储料机构的出料口对接，振动模组作用于输料部且使得由储料机构落入输料部中的物料在气密状态下移向喂料机构，喂料机构将物料从炉体外部输入炉体内部。本发明公开的晶体生长系统，包括炉体，坩埚以及如上所述的物料供给系统，物料供给装置给坩埚传送物料。本发明提高了单晶硅棒的生产效率，同时提高了外部加料的稳定性和安全性。

主权项

1.物料供给装置，其特征在于，用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料，所述物料供给装置包括储料机构、振动输料机构(1)和喂料机构(4)，所述储料机构用于容纳物料且具有出料口，所述振动输料机构(1)包括输料部(105)和振动模组(104)，所述输料部(105)与所述储料机构的出料口对接，所述振动模组(104)作用于所述输料部(105)且使得由储料机构落入所述输料部(105)中的物料在气密状态下移向所述喂料机构(4)；所述喂料机构(4)将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部；还包括位于炉体(7)内部、且与坩埚(11)相对的投料通路(5)，所述喂料机构(4)包括喂料通路(43)，喂料通路(43)与投料通路(5)对接，物料经喂料通路(43)进入投料通路(5)并输入坩埚(11)中。