[发明专利]物料供给装置以及晶体生长系统有效

专利信息
申请号: 201710623916.6 申请日: 2017-07-27
公开(公告)号: CN109306513B 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 周锐;李定武;李侨;张永辉;付泽华;张伟建 申请(专利权)人: 隆基绿能科技股份有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 钟欢
地址: 710100 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开的物料供给装置,用于向炉体内部的坩埚中供给物料,物料供给装置包括储料机构、振动输料机构和喂料机构,储料机构用于容纳物料且具有出料口,振动输料机构包括输料部和振动模组,输料部与所述储料机构的出料口对接,振动模组作用于输料部且使得由储料机构落入输料部中的物料在气密状态下移向喂料机构,喂料机构将物料从炉体外部输入炉体内部。本发明公开的晶体生长系统,包括炉体,坩埚以及如上所述的物料供给系统,物料供给装置给坩埚传送物料。本发明提高了单晶硅棒的生产效率,同时提高了外部加料的稳定性和安全性。
搜索关键词: 物料 供给 装置 以及 晶体生长 系统
【主权项】:
1.物料供给装置,其特征在于,用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料,所述物料供给装置包括储料机构、振动输料机构(1)和喂料机构(4),所述储料机构用于容纳物料且具有出料口,所述振动输料机构(1)包括输料部(105)和振动模组(104),所述输料部(105)与所述储料机构的出料口对接,所述振动模组(104)作用于所述输料部(105)且使得由储料机构落入所述输料部(105)中的物料在气密状态下移向所述喂料机构(4);所述喂料机构(4)将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部;还包括位于炉体(7)内部、且与坩埚(11)相对的投料通路(5),所述喂料机构(4)包括喂料通路(43),喂料通路(43)与投料通路(5)对接,物料经喂料通路(43)进入投料通路(5)并输入坩埚(11)中。
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  • 2023-03-21 - 2023-08-25 - C30B15/02
  • 本实用新型公开了一种外提升复投装置,包括套筒、投料部和提升机构。投料部可转动开合的设于套筒的下端;提升机构设于套筒的外部,提升机构用于带动投料部开合。本实用新型的提升机构设于套筒的外部,能够避免与套筒内部硅料接触,避免出现卡料;投料部转动开合于套筒的下端,能够避免碎片硅料堆积;底部无石英锥形伞,无需钼杆和钼螺栓控制其复投,从而避免杂质进入硅液中,影响单晶品质;本实用新型能够改善复投硅料卡料情况,节约原料成本,降低损坏率,延长使用寿命。
  • 一种太阳能光伏硅片生产用单晶炉加料系统-202310641376.X
  • 戴永丰;王山华;戴永成;谭明 - 浙江宇辰智能装备有限公司
  • 2023-06-01 - 2023-08-22 - C30B15/02
  • 本发明公开了一种太阳能光伏硅片生产用单晶炉加料系统,涉及单晶炉加料领域,包括炉体,所述炉体的上放设置有加料箱,所述炉体的上端与加料箱通过安装架固定连接,所述加料箱的右侧安装有进料口,所述加料箱的内底部设置有柱状口,所述炉体的内顶部还设置有开口;熔化机构,所述熔化机构包括多个固定连接在加料箱上下内壁间的金属加热杆,所述加料箱的内壁上安装有感应线圈,所述感应线圈与多个金属加热杆配合;流动机构,所述流动机构用于提高熔化的速度。该加料系统在使用时,先将固态的硅料进行熔化后,经过降速后投放入炉体中的溶体中,极大的降低溶体液面震荡可能性,保证了后续成品质量。
  • 加料管、加料方法和晶体生长设备-202210344847.6
  • 陈俊宏;高海棠 - 中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
  • 2022-03-31 - 2023-08-18 - C30B15/02
  • 本发明公开了一种加料管、加料方法和晶体生长设备,加料管用于晶体生长设备,且包括管体和多个分隔件,管体限定出加料腔,加料腔包括多个沿管体的轴向依次布置的盛放腔,每个盛放腔的周壁形成有出料口,多个分隔件沿管体的轴向间隔设置,每个分隔件设于对应盛放腔,且分隔件可在遮挡位置和避让位置之间运动,在遮挡位置,分隔件位于对应出料口的上侧以遮挡对应出料口,在避让位置,分隔件的至少部分位于对应出料口的下侧以避让对应出料口。根据本发明的加料管,加料较为分散,有利于提升后续化料效率。
  • 一种单晶炉连续加料装置及其使用方法-202310467131.X
  • 马君健;蔡一茂 - 北京大学
  • 2023-04-27 - 2023-08-11 - C30B15/02
  • 本发明属于单晶炉加料设备领域,具体为一种单晶炉连续加料装置及其使用方法,包括固定底板和输送软管,所述固定底板的顶端面上固定连接有装置外壳,所述装置外壳内安装有下料粉碎组件、高效研磨组件和循环输送组件,所述下料粉碎组件通过固定杆与高效研磨组件连接,所述高效研磨组件与循环输送组件相连接,解决了现有的单晶炉连续加料装置在使用过程中,虽能够进行连续加料,但在加料过程中,不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行便捷稳定的间歇等量下料,因此在加料过程中,不能够对需要使用的多晶硅原料和掺杂剂进行稳定配比使用,并且不能够有效避免一次性大量下料导致装置内部堵塞,或者石英坩埚内部原料溢出。
  • 一种高温自动加料的拉晶装置及其使用方法-202310469085.7
  • 马君健;蔡一茂 - 北京大学
  • 2023-04-27 - 2023-08-11 - C30B15/02
  • 本发明属于拉晶装置技术领域,具体为一种高温自动加料的拉晶装置及其使用方法,包括支撑座,所述支撑座的左侧固定设置有连接板,连接板的顶部固定连接有连接座,连接座的内部转动安装有转辊,转辊的表面安装有输送带,所述连接座的前后两端均固定安装有待转移支撑框,所述转辊的左右两侧均安装有自动送料组件,所述连接板的左侧和支撑座的左侧均固定连接有连接轴,所述连接轴和相邻连接轴之间转动连接有内管套,所述内管套的内部安装有牵引组件。该拉晶装置不仅能够将其中一处硅锭移动至待转移区域时,自动将下一处硅锭取出,而且能够根据熔融硅原料的液面高度位置进行自动定量加料,提高了生产效率和自动化程度。
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