[发明专利]一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置有效
| 申请号： | 201710623044.3 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109308432B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 陈福刚;唐丽贤;林保璋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06V40/13 | 分类号： | G06V40/13;H01L21/768;H01L23/522 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;张建 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置，该制作方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括像素区；在所述像素区形成顶部极板；对所述像素区的顶部极板进行表面处理，以使所述顶部极板表面因产生空洞而形成粗糙表面。该制作方法可以降低噪声对指纹检测的影响，提高指纹检测性能。该半导体指纹传感器和电子装置具有类似的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 指纹 传感器 及其 制作方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体指纹传感器的制作方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括像素区；在所述像素区形成顶部极板；对所述像素区的顶部极板进行表面处理，以使所述顶部极板表面因产生空洞而形成粗糙表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710623044.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光学指纹传感器模组
- 下一篇：一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置
