[发明专利]基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器及光谱检测方法

摘要

本发明提供一种基于MEMS微振镜的微型光谱仪、气体传感器及光谱检测方法，包括：光会聚模块；微振镜模块，设置于光会聚模块的出射光路上，接收光会聚模块射出的光并进行不同角度的反射；滤光模块，设置于微振镜模块的出射光路上，接收振镜模块反射的光并进行过滤，得到若干个不同波长单色光的光信号；探测模块，与滤光模块相连接，设置于所述光会聚模块所会聚的光的焦点位置，读出滤光模块所得到的光信号以获得光谱图。通过上述方案，本发明的光谱仪采用集成滤光片及基于MEMS技术的微振镜，简化了传统机械结构以及光栅棱镜等大型器件，使光谱仪集成化高、体积小，提高了单位像元光强度和光利用效率、信噪比及测量精度和灵敏度，降低了光谱仪整体功耗。

主权项

一种基于MEMS微振镜的微型光谱仪，其特征在于，包括：光会聚模块，用于会聚待测物所反射的光；微振镜模块，设置于所述光会聚模块的出射光路上，用于接收所述光会聚模块射出的光并将其进行不同角度的反射；滤光模块，设置于所述微振镜模块的出射光路上，用于接收所述微振镜模块反射的光并对其进行过滤，以得到若干个不同波长单色光的光信号；以及探测模块，与所述滤光模块相连接，且设置于所述光会聚模块所会聚的光的焦点位置，所述探测模块读出所述滤光模块所得到的所述光信号以获得所述光信号的光谱图。