[发明专利]一种曲面盖板的镀膜装置及镀膜方法在审
| 申请号： | 201710574569.2 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107299329A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘磊;周伟杰;周志辉 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 516600 广东省汕尾*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曲面盖板的镀膜装置及镀膜方法，所述曲面盖板应用于智能终端，所述镀膜装置包括镀膜腔室，所述镀膜腔室与至少一个镀膜仪器相连；设置于所述镀膜腔室内的自转轴，所述自转轴绕第一中心轴自转；以及，连接于所述自转轴上的至少一个自转夹具，所述自转夹具包括至少一个夹具台面，所述夹具台面用于放置所述曲面盖板；其中，所述自转夹具绕第二中心轴自转，且所述自转轴的自转带动所述自转夹具旋转，所述第一中心轴和所述第二中心轴的轴向相同。在镀膜过程中自转轴绕第一中心轴自转，进而能够带动自转夹具绕第一中心轴公转，最终达到在镀膜过中对曲面盖板绕第一中心轴公转、且绕第二中心轴自转的控制，以达到提高镀膜均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲面 盖板 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种曲面盖板的镀膜装置，所述曲面盖板应用于智能终端，其特征在于，所述镀膜装置包括：镀膜腔室，所述镀膜腔室与至少一个镀膜仪器相连；设置于所述镀膜腔室内的自转轴，所述自转轴绕第一中心轴自转；以及，连接于所述自转轴上的至少一个自转夹具，所述自转夹具包括至少一个夹具台面，所述夹具台面用于放置所述曲面盖板；其中，所述自转夹具绕第二中心轴自转，且所述自转轴的自转带动所述自转夹具旋转，所述第一中心轴和所述第二中心轴的轴向相同。
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