[发明专利]微滴离子溅射工艺以及水轮机制备方法有效
| 申请号： | 201710560785.1 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107287567B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 鲁伟员;吴江;李信;王建波 | 申请（专利权）人： | 成都天府新区河川科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B33Y10/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李双艳 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及增材制造微滴离子溅射技术领域，且特别涉及一种微滴离子溅射工艺以及水轮机制备方法。该工艺利用两个溅射头对待溅射基体相对的两个表面同时进行溅射，形成打印层防护层；其中，溅射使用的打印层原料的粒径为10‑20纳米。其能够同时对待溅射基体相对两个表面的相对区域同时进行打印层原料溅射，减小受热不均导致的变形，解决待溅射基体的裂纹。气泡等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 溅射 工艺 以及 水轮机 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微滴离子溅射工艺，其特征在于，包括以下步骤：利用两个溅射头对待溅射基体相对的两个表面同时进行溅射，形成打印层防护层；其中，溅射使用的打印层原料的粒径为10‑20纳米；向所述待溅射基体溅射所述打印层原料的同时，利用冷却水对所述待溅射基体进行隔离降温处理。
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