[发明专利]模具、压印方法、压印装置和用于制造半导体制品的方法在审
| 申请号： | 201710506145.2 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107561855A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 筱田健一郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种模具、压印方法、压印装置和用于制造半导体制品的方法。该用于压印装置的模具包括形成有图案的图案部分和围绕图案部分的周边部分，其中，周边部分配设有遮光部分，该遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光并使用于对检测目标进行检测的检测光透射。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 压印 方法 装置 用于 制造 半导体 制品 | ||
【主权项】：
一种用于压印装置的模具，所述模具包括：形成有图案的图案部分；和围绕图案部分的周边部分，其中，周边部分配设有遮光部分，该遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光并使用于对检测目标进行检测的检测光透射。
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