[发明专利]单晶硅生长用组合式石英坩埚及其制备方法

摘要

本发明涉及一种单晶硅生长用组合式石英坩埚及其制备方法。所述的组合式石英坩埚包括坩埚外埚体和坩埚内筒体，坩埚外埚体包括外筒部和埚底部，坩埚内筒体由碳纤维烧结筒和围绕碳纤维烧结筒设置的石英烧结材料构成。所述的石英烧结材料为覆盖在碳纤维烧结筒上的石英粉经烧结而成的一体件。所述碳纤维烧结筒是由碳纤维编织并烧结而成的上下贯通的筒状织物。使用时，坩埚内筒体置于坩埚外埚体的内部，且将坩埚外埚体分成晶体生长区和投料化料区内外两个区域。本发明结构简单，可分离杂质，能够实现投料、化料、晶体生长及分离杂质同步进行且高温持续工作时间长。

主权项

1.一种单晶硅生长用组合式石英坩埚，包括开口向上的坩埚外埚体（1）；坩埚外埚体（1）为石英烧结一体件；其特征在于：还包括坩埚内筒体（2）；所述坩埚外埚体（1）包括外筒部（11）和埚底部（12）；所述外筒部（11）的底部与埚底部（12）的顶部相互连接；所述坩埚内筒体（2）是上下贯通的筒体，由碳纤维烧结筒（21）和围绕碳纤维烧结筒（21）设置的石英烧结材料构成；所述碳纤维烧结筒（21）是由碳纤维编织并烧结而成的上下贯通的筒状烧结物；碳纤维烧结筒（21）的侧壁上设有至少2个液流孔（21‑1）和多个呈分散状分布的石英孔（21‑2）；所述的石英烧结材料为覆盖在碳纤维烧结筒（21）上的由石英粉经烧结而成的连为一体的石英一体件，该石英一体件不仅覆盖在坩埚内筒体（2）的内外侧和下侧的表面上，还充满于各个石英孔（21‑2）中，而且还覆盖在各个液流孔（21‑1）的孔壁上；所述的坩埚内筒体（2）的在其碳纤维烧结筒（21）的各个液流孔（21‑1）的孔壁上覆盖石英烧结材料的部位，形成了坩埚内筒体（2）的贯穿其侧壁的物料通过孔（26），且所述的物料通过孔（26）数量与液流孔（21‑1）的数量相同；使用时，所述坩埚内筒体（2）置于坩埚外埚体（1）的埚底部（12）的内侧壁上，并且所述坩埚内筒体（2）的外侧壁与外筒部（11）的内侧壁间隔距离，从而将坩埚外埚体（1）分成晶体生长区和投料化料区两个区域。