[发明专利]制绒槽内硅片输送装置在审
申请号: | 201710470101.9 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN107134428A | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 狄云飞;孙铁囤;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其是一种制绒槽内硅片输送装置,制绒槽内具有用于盛放硅片制绒药液的腔体,该输送装置包括若干下转轴,若干下转轴转动设置在制绒槽内,下转轴上同轴固定有下滚轮;制绒槽内位于下转轴的上方转动设置有上转轴,上转轴上套设有若干上压滚轮,上压滚轮具有轴孔,轴孔的直径大于上转轴的直径,本发明的制绒槽内硅片输送装置能够有效减少硅片在输送时卡住的情况发生,而且使硅片进入制绒槽时,与药液有良好的接触,有效避免因药液液位偏低所导致的硅片脱液,减少了硅片在前清洗制程上因背面不良导致返工的数量,有助于节省返工带来的损耗。 | ||
搜索关键词: | 制绒槽内 硅片 输送 装置 | ||
【主权项】:
一种制绒槽内硅片输送装置,所述制绒槽(1)内具有用于盛放硅片(5)制绒药液的腔体(1‑1),其特征在于:该输送装置包括若干下转轴(2),若干所述下转轴(2)转动设置在制绒槽(1)内,若干所述下转轴(2)相互平行且间隔设置,所述下转轴(2)上同轴固定有下滚轮(2‑1);所述制绒槽(1)内位于下转轴(2)的上方转动设置有上转轴(3),所述上转轴(3)上套设有若干上压滚轮(3‑1),所述上压滚轮(3‑1)具有轴孔(3‑11),所述上转轴(3)穿过轴孔(3‑11),所述轴孔(3‑11)的直径大于上转轴(3)的直径;所述上转轴(3)的端部固定有上齿轮(3‑2),所述下转轴(2)的端部固定有下齿轮(2‑2),所述上齿轮(3‑2)与下齿轮(2‑2)啮合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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