[发明专利]一种玻璃基板位置矫正装置及方法有效
申请号: | 201710463711.6 | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN107170703B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 王玉添 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种玻璃基板位置矫正装置及方法,设置在玻璃基板的夹角处以矫正玻璃基板的位置,包括:一对限位柱,用于调整玻璃基板的位置;承载台,所述的一对限位柱固定在承载台上;支撑台,设置在承载台远离所述限位柱的一端,用于支撑承载台,连接杆,与支撑台固定连接,以及控制装置,与连接杆连接,控制连接杆的移动。改善了玻璃基板偏移过大造成的基台破片的现象,减少产能损失和经济损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 位置 矫正 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃基板位置矫正装置,设置在玻璃基板的四个夹角处以矫正玻璃基板的位置,其特征在于,包括:一对限位柱,用于与所述玻璃基板的边缘接触,以调整玻璃基板的位置,其中,所述限位柱之间的距离为4‑10mm;承载台,所述的一对限位柱固定在承载台上;支撑台,设置在承载台远离所述限位柱的一端,用于支撑承载台,连接杆,与支撑台固定连接,以及控制装置,与连接杆连接,控制连接杆的移动;其中,所述控制装置包括缸筒和一端设置在缸筒内部的推杆,推杆上固定有活塞,所述推杆另一端与连接杆连接固定并沿缸筒中心线做往复运动;所述缸筒内设置有两个限位件,用于限制活塞的范围,所述限位件包括开始限位件和结束限位件,矫正时活塞位于结束限位件位置上,非矫正状态时活塞位于开始限位件位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造