[发明专利]碳化铪薄膜的制备方法、以及包括该碳化铪薄膜的模具在审
| 申请号： | 201710446336.4 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108728792A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈怀浩;魏洁 | 申请（专利权）人： | 南京佑天金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 高姗 |
| 地址： | 211164 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化铪薄膜的制备方法，包括：将基片放入磁控溅射设备真空室内的工作架上，向真空室内通入氩气和乙炔的混合气体；设置真空室的工作参数，其中：溅射压强为0.6Pa，溅射电流为30A，偏压为‑120～‑60V，乙炔气体流量为50～200sccm，沉积时间为1～2h，且基片不加热；以金属铪为溅射靶，在所述基片表面沉积碳化铪薄膜。以及一种模具，包括：模具本体和硬质合金薄膜，所述硬质合金薄膜为上述碳化铪薄膜。本发明优化了碳化铪薄膜的制备工艺，增强了碳化铪薄膜的纯度以及性能的优异性，使得由该碳化铪薄膜制备出的模具拥有更好的耐高温和耐磨性能，适用于硬质合金薄膜的制备领域。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 碳化铪 硬质合金 制备 模具 沉积 磁控溅射设备 乙炔气体流量 室内 压强 乙炔 氩气 薄膜制备 工作参数 混合气体 基片表面 模具本体 耐磨性能 制备工艺 工作架 溅射靶 金属铪 耐高温 真空室 放入 溅射 加热 优化 | ||
【主权项】：
1.碳化铪薄膜的制备方法，其特征在于：包括：将基片放入磁控溅射设备真空室内的工作架上，向真空室内通入氩气和乙炔的混合气体；设置真空室的工作参数，其中：溅射压强为0.6Pa，溅射电流为30A，偏压为‑120～‑60V，乙炔气体流量为50～200sccm，沉积时间为1～2h，且基片不加热；以金属铪为溅射靶，在所述基片表面沉积碳化铪薄膜。
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