[发明专利]一种光缆及其制备方法有效
| 申请号： | 201710416895.0 | 申请日： | 2017-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN107287569B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赵琰;张东;李昱材;宋世巍;王健;毛红艳;于源;杜士鹏;郑俊哲;柯昀杰;王帅杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241 | 代理人： | 赵艳 |
| 地址： | 110136 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光缆及其制备方法，光缆上由内向外依次沉积MgO保护薄膜和BCN保护薄膜，得到具有BCN/MgO双层保护薄膜的光缆，MgO保护薄膜的厚度100nm～200nm，BCN保护薄膜的厚度200nm～400nm；所述BCN保护薄膜的B、C、N摩尔浓度比为1～3：2～5：10～20；其制备方法：光缆擦拭干净后，氮气吹干；在光缆上沉积制备MgO保护薄膜，在MgO保护薄膜的基础上沉积BCN保护薄膜；得到BCN/MgO双层保护薄膜；本发明利用可精确控制的低温沉积的溅射技术，在光缆表面沉积出高质量的BCN/MgO保护薄膜，BCN/MgO薄膜具有耐酸碱，抗腐蚀，很大程度减轻光缆保护套的重量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光缆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光缆的制备方法，其特征在于，该方法包括如下的步骤：1)将光缆擦拭干净后，氮气吹干；2)在光缆表面沉积制备BCN/MgO双层保护薄膜：取步骤1)中的光缆制备MgO保护薄膜，在MgO保护薄膜材料的基础上继续沉积制备BCN保护薄膜，最终得到具有BCN/MgO双层保护薄膜的光缆；所述制备MgO保护薄膜，采用磁控溅射设备在光缆表面沉积制备MgO保护薄膜，其反应条件和实验参数为：以高纯度MgO作为溅射靶材，通入高纯度氧气，抽真空到10‑3pa～10‑4pa之间，氧气流量为80～120sccm，氩气流量为40～60sccm，氧气与氩气流量为2：1～3：1，溅射时间55～65min,温度50～55℃；得到MgO保护薄膜；所述制备BCN保护薄膜，在MgO保护薄膜的基础上采用磁控溅射设备沉积制备BCN保护薄膜，其反应条件和实验参数为：继续抽真空到10‑3pa～10‑4pa之间，以高纯B为溅射靶材，其氮气流量为80sccm～300sccm，其甲烷气体流量为20sccm～100sccm，其甲烷气体与氮气流量比例为CH4:N2＝1:3～1:9，溅射时间10min～60min,溅射温度为30～50℃，得到BCN保护薄膜材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳工程学院，未经沈阳工程学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710416895.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
