[发明专利]一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201710406103.1 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN106987807B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 孙力 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法，涉及真空蒸发镀膜领域，能够解决现有的蒸镀坩埚在蒸镀材料气化蒸发使得内部扩散空间增大进而导致蒸发速率下降而影响蒸镀效果的问题。包括：蒸镀坩埚；活动台，设置在蒸镀坩埚内，活动台至少包括底板，用于放置蒸镀材料，活动台与蒸镀坩埚的侧面以及上表面包围形成蒸发空腔；移动机构，带动活动台在蒸镀坩埚内沿垂直于底板的方向移动。其中，在蒸镀坩埚的上表面设置有蒸镀材料出口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀源 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀源，其特征在于，包括：蒸镀坩埚；活动台，设置在所述蒸镀坩埚内，所述活动台至少包括底板，用于放置蒸镀材料，所述活动台与所述蒸镀坩埚的侧面以及上表面包围形成蒸发空腔；移动机构，与所述活动台相连接，并可带动所述活动台在所述蒸镀坩埚内沿垂直于所述底板的方向移动；其中，在所述蒸镀坩埚的上表面设置有蒸镀材料出口；所述移动机构包括弹性元件，所述弹性元件的一端与所述活动台相连接、另一端与所述蒸镀坩埚相连接。
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