[发明专利]一种LED金属电极结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201710380627.8 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106972088B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吕振兴;潘尧波;张德;刘亚柱 | 申请（专利权）人： | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/36 | 分类号： | H01L33/36;H01L33/38;H01L33/40;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种LED金属电极结构及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S21：提供一外延片，制作电极图形；S22：蒸镀电极：在电子束蒸发真空镀膜机的腔体内依次蒸镀Cr层、Al层、第一Ti层、第一Ni层、第二Ti层、第二Ni层和Au层；S23：剥离与去胶：采用蓝膜对金属进行剥离，待金属剥离干净后再将电极放入去胶剂中进行超声浸泡。本发明中Al层紧挨Cr层设计，Cr层不但能够起到黏附作用，还能将传输到P、N电极的光反射回芯片内部，被反射回的光从芯片内部再射出来，从而提高了LED芯片的外量子效率；Ti层、Ni层交替的作用主要是为消除Ni应力，杜绝在蒸镀过程中产生翘金异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 金属电极 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LED金属电极结构，其特征在于，由外延片的表层向外依次包括Cr层、Al层、第一Ti层、第一Ni层、第二Ti层、第二Ni层和Au层；其中：1)所述Cr层的厚度为![]()
2)所述Al层的厚度为![]()
3)所述第一Ti层的厚度为![]()
4)所述第一Ni层的厚度为![]()
5)所述第二Ti层的厚度为![]()
6)所述第二Ni层的厚度为![]()
7)所述Au层的厚度为![]()
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