[发明专利]一种制备自支撑多孔金属薄膜的方法有效
| 申请号： | 201710373894.2 | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106995914B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 司鹏超;刁方园 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 郑平 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种自支撑多孔金属薄膜的制备方法，包括：在铝基底上磁控溅射合金薄膜、退火，得待处理样品；腐蚀掉上述样品的铝基底，得合金薄膜；将上述合金薄膜脱合金处理，即得自支撑多孔金属薄膜。本发明提供一种高效、廉价制备自支撑的、厚度可控的超薄纳米多孔金属薄膜的方法，通过简单的方法制备合金薄膜前驱体，并结合腐蚀和脱合金的方法得到自支撑的、厚度可控的、尺寸较大、连续的纳米多孔金属薄膜。步骤简单、操作方便、实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 支撑 多孔 金属 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自支撑多孔银薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在铝基底上磁控溅射银铜合金薄膜、退火，得待处理样品；腐蚀掉上述样品的铝基底，得合金薄膜；将上述合金薄膜脱合金处理，即得自支撑多孔银薄膜；所述磁控溅射方法为银靶和铜靶共溅射；所述腐蚀掉上述样品的铝基底的溶液为盐酸溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710373894.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型圆柱直齿轮毛刺去除装置
- 下一篇：一种齿轮端面打磨装置
- 同类专利
- 专利分类
