[发明专利]加工装置和加工方法有效

专利信息
申请号: 201710372768.5 申请日: 2017-05-24
公开(公告)号: CN107452652B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 重松孝一 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;乔婉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供加工装置和加工方法。加工装置具有:加工构件,其加工被加工物;对准构件,其具有对加工构件加工的被加工物进行对准的照相机;和控制构件,其至少控制加工构件和对准构件,控制构件包含:基准程序存储部,其存储用于加工规定的被加工物的基准程序;基准结果记录部,其在对准构件和加工构件无异常时对按照基准程序利用对准构件对规定的被加工物进行了对准的结果进行评分并记录为对准基准结果,对按照基准程序利用加工构件加工了规定的被加工物的结果进行评分并记录为加工基准结果;和加工结果计算部,其对按照基准程序利用加工构件加工了与规定的被加工物实际相同的被加工物的加工结果进行评分,对利用对准构件进行了对准的对准结果进行评分。
搜索关键词: 加工 装置 方法
【主权项】:
一种加工装置,其具有:加工构件,其对被加工物进行加工;对准构件,其具有对利用该加工构件进行加工的被加工物进行对准的照相机;以及控制构件,其至少对该加工构件和该对准构件进行控制,该加工装置的特征在于,该控制构件包含:基准程序存储部,其存储用于对规定的被加工物进行加工的基准程序;基准结果记录部,其在该对准构件和该加工构件不存在异常时,对按照该基准程序利用该对准构件对该规定的被加工物进行了对准的结果进行评分并记录为对准基准结果,并且对按照该基准程序利用该加工构件对该规定的被加工物进行了加工的结果进行评分并记录为加工基准结果;以及加工结果计算部,其对按照该基准程序利用该加工构件对与该规定的被加工物实际上相同的被加工物进行了加工的加工结果进行评分,并且对利用该对准构件进行了对准的对准结果进行评分。
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