[发明专利]微发光二极管的转移设备及转移方法有效
| 申请号： | 201710369880.3 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107146769B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 卢马才;姚江波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微发光二极管的转移设备及转移方法。所述微发光二极管的转移设备包括：本体、设于所述本体上的吐液模块、冷却模块和加热模块，可通过吐液模块向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液，通过冷却模块冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液，使得金属粘附液固化，将本体和待转移的微发光二极管粘结到一起进行微发光二极管的转移，转移到位后通过加热模块加热固化后的金属粘附液，使得金属粘附液熔化，分离本体和待转移的微发光二极管，能够降低微发光二极管的转移难度，提升微发光二极管的转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微发光二极管的转移设备，其特征在于，包括：本体(10)、设于所述本体(10)上的吐液模块(20)、冷却模块(30)和加热模块(40)；所述吐液模块(20)用于向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液；所述冷却模块(30)用于冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液，使得金属粘附液固化，将本体(10)和待转移的微发光二极管粘结到一起；所述加热模块(40)用于加热固化后的金属粘附液，使得金属粘附液熔化，分离本体(10)和待转移的微发光二极管；所述金属粘附液为低熔点金属的粘附液。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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