[发明专利]微发光二极管的转移设备及转移方法有效
申请号: | 201710369880.3 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107146769B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 卢马才;姚江波 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 转移 设备 方法 | ||
本发明提供一种微发光二极管的转移设备及转移方法。所述微发光二极管的转移设备包括:本体、设于所述本体上的吐液模块、冷却模块和加热模块,可通过吐液模块向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液,通过冷却模块冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液,使得金属粘附液固化,将本体和待转移的微发光二极管粘结到一起进行微发光二极管的转移,转移到位后通过加热模块加热固化后的金属粘附液,使得金属粘附液熔化,分离本体和待转移的微发光二极管,能够降低微发光二极管的转移难度,提升微发光二极管的转移效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种微发光二极管的转移设备及转移方法。
背景技术
平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点,而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品,成为显示装置中的主流。
微发光二极管(Micro LED)显示器是一种以在一个基板上集成的高密度微小尺寸的LED阵列作为显示像素来实现图像显示的显示器,同大尺寸的户外LED显示屏一样,每一个像素可定址、单独驱动点亮,可以看成是户外LED显示屏的缩小版,将像素点距离从毫米级降低至微米级,Micro LED显示器和有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器一样属于自发光显示器,但Micro LED显示器相比OLED显示器还具有材料稳定性更好、寿命更长、无影像烙印等优点,被认为是OLED显示器的最大竞争对手。
在微发光二极管显示面板的制作过程中,微发光二极管必须先在原始基板(如蓝宝石类基板)上通过分子束外延的方法生长出来,而做成显示面板,还必须要把微发光二极管器件原始基板上转移到用于形成显示面板的接收基板上排成显示阵列,具体为:先原始基板上形成微发光二极管,随后通过激光剥离技术(Laser lift-off,LLO)等方法将微发光二极管从原始基板上剥离开,并使用一个采用诸如聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)等材料制作的转移头,如将微发光二极管从原始基板上吸附到接收基板上预设的位置。
现有技术中,用于微发光二极管转移的转移头通常是通过静电力吸附微发光二极管来完成微发光二极管转移的,该方法对转移头与被转移对象之间的间隙有着严格要求,若出现转移间隙的偏差,就会导致转移失效而造成显示面板缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微发光二极管的转移设备,能够降低微发光二极管的转移难度,提升微发光二极管的转移效率。
本发明的目的还在于提供一种微发光二极管的转移方法,能够降低微发光二极管的转移难度,提升微发光二极管的转移效率。
为实现上述目的,本发明提供了一种微发光二极管的转移设备,包括:本体、设于所述本体上的吐液模块、冷却模块和加热模块;
所述吐液模块用于向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液;
所述冷却模块用于冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液,使得金属粘附液固化,将本体和待转移的微发光二极管粘结到一起;
所述加热模块用于加热固化后的金属粘附液,使得金属粘附液熔化,分离本体和待转移的微发光二极管。
所述本体包括:多个依次排列的转移头,每一个转移头的底部均设有吐液口,所述吐液模块通过吐液口向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液。
每一对相邻的转移头之间均设有吹气孔,所述冷却模块通过吹气孔向外吹气冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液。
每一个转移头上均设有电阻加热体,所述加热模块通过向电阻加热体通电加热固化后的金属粘附液。
所述吹气孔吹出的气体为氦气。
本发明提供一种微发光二极管的转移方法,包括如下步骤:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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