[发明专利]微发光二极管的转移设备及转移方法有效
申请号: | 201710369880.3 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107146769B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 卢马才;姚江波 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 转移 设备 方法 | ||
1.一种微发光二极管的转移设备,其特征在于,包括:本体(10)、设于所述本体(10)上的吐液模块(20)、冷却模块(30)和加热模块(40);
所述吐液模块(20)用于向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液;
所述冷却模块(30)用于冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液,使得金属粘附液固化,将本体(10)和待转移的微发光二极管粘结到一起;
所述加热模块(40)用于加热固化后的金属粘附液,使得金属粘附液熔化,分离本体(10)和待转移的微发光二极管;
所述金属粘附液为低熔点金属的粘附液。
2.如权利要求1所述的微发光二极管的转移设备,其特征在于,所述本体(10)包括:多个依次排列的转移头(101),每一个转移头(101)的底部均设有吐液口(102),所述吐液模块(20)通过吐液口(102)向待转移的微发光二极管吐出金属粘附液。
3.如权利要求2所述的微发光二极管的转移设备,其特征在于,每一对相邻的转移头(101)之间均设有吹气孔(103),所述冷却模块(30)通过吹气孔(103)向外吹气冷却待转移的微发光二极管上的金属粘附液。
4.如权利要求2所述的微发光二极管的转移设备,其特征在于,每一个转移头(101)上均设有电阻加热体(104),所述加热模块(40)通过向电阻加热体(104)通电加热固化后的金属粘附液。
5.如权利要求3所述的微发光二极管的转移设备,其特征在于,所述吹气孔(103)吹出的气体为氦气。
6.一种微发光二极管的转移方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S1、提供一转运基板(8),所述转运基板(8)上设有微发光二极管(100);
步骤S2、提供一微发光二极管的转移设备,所述微发光二极管的转移设备包括:本体(10)、设于所述本体(10)上的吐液模块(20)、冷却模块(30)和加热模块(40);
步骤S3、所述吐液模块(20)向微发光二极管(100)上吐出金属粘附液,所述冷却模块(30)冷却所述吐液模块(20)吐出的金属粘附液,使得金属粘附液固化,将本体(10)和微发光二极管(100)粘结到一起;
步骤S4、提供一接收基板(400),所述微发光二极管的转移设备将所述微发光二极管(100)移动到接收基板(400)上预设的邦定位置,所述加热模块(40)加热所述固化后的金属粘附液,使得金属粘附液熔化,分离本体(10)和微发光二极管(100),从而将所述微发光二极管(100)转移到接收基板(400)上;
所述金属粘附液为低熔点金属的粘附液。
7.如权利要求6所述的微发光二极管的转移方法,其特征在于,所述本体(10)包括:多个依次排列的转移头(101),每一个转移头(101)的底部均设有吐液口(102),所述步骤S3中吐液模块(20)通过吐液口(102)向微发光二极管(100)上吐出金属粘附液。
8.如权利要求7所述的微发光二极管的转移方法,其特征在于,每一对相邻的转移头(101)之间均设有吹气孔(103),所述步骤S3中冷却模块(30)通过吹气孔(103)向外吹气冷却吐液模块(20)吐出的金属粘附液。
9.如权利要求7所述的微发光二极管的转移方法,其特征在于,每一个转移头(101)上均设有电阻加热体(104),所述步骤S4中加热模块(40)通过向电阻加热体(104)通电加热固化后的金属粘附液。
10.如权利要求8所述的微发光二极管的转移方法,其特征在于,所述步骤S3中所述吹气孔(103)吹出的气体为氦气。
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