[发明专利]一种高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法在审
申请号: | 201710367464.X | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107128935A | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 刘亚;王宇湖 | 申请(专利权)人: | 苏州纳迪微电子有限公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 范晴 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯球形二氧化硅微粉的制备方法,包括步骤先将提纯后的有机硅经过水解、缩合为有机硅聚合物,再将有机硅聚合物和碱性水溶液反应,原位固化形成球形氧化硅颗粒,经过陈化后,分离获得球形硅微粉,最后高温煅烧,得到高纯球形硅微粉。本发明以高纯有机硅为硅源,无需其他添加剂和辅助剂,降低了硅微粉的二次污染,制备的球形硅微粉纯度高,硅微粉中各金属杂质含量都在1ppm以下,基本无放射线元素的α射线污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 纯度 球形 二氧化硅 制备 方法 | ||
【主权项】:
高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,具体步骤如下:(1)将提纯后的有机硅与水、酸性催化剂混合,经过水解、缩合为有机硅聚合物,(2)在喷雾塔内,将有机硅聚合物和碱性水溶液通过不同喷嘴同时喷出雾化,球形有机硅液滴与碱性水溶液反应,在喷雾塔的内部空间中原位固化形成球形氧化硅颗粒,(3)固化后的球形颗粒落在装有碱性水溶液的喷雾塔底部,使球形硅微粉在碱性水溶液中陈化,(4)陈化结束后,通过固液分离获得球形硅微粉,将球形硅微粉进行干燥,(5)在高温炉中500~1200℃煅烧,即得到高纯球形硅微粉。
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