[发明专利]一种高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法在审
申请号: | 201710367464.X | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN107128935A | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 刘亚;王宇湖 | 申请(专利权)人: | 苏州纳迪微电子有限公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 范晴 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纯度 球形 二氧化硅 制备 方法 | ||
1.高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,具体步骤如下:
(1)将提纯后的有机硅与水、酸性催化剂混合,经过水解、缩合为有机硅聚合物,
(2)在喷雾塔内,将有机硅聚合物和碱性水溶液通过不同喷嘴同时喷出雾化,球形有机硅液滴与碱性水溶液反应,在喷雾塔的内部空间中原位固化形成球形氧化硅颗粒,
(3)固化后的球形颗粒落在装有碱性水溶液的喷雾塔底部,使球形硅微粉在碱性水溶液中陈化,
(4)陈化结束后,通过固液分离获得球形硅微粉,将球形硅微粉进行干燥,
(5)在高温炉中500~1200℃煅烧,即得到高纯球形硅微粉。
2.根据权利要求1所述的高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,所述有机选自硅四甲氧基硅烷或者四乙氧基硅烷或者甲基三甲氧基硅烷中一种或者两种以上的混合物。
3.根据权利要求1所述的高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,其特征在于,所述酸性催化剂选自盐酸或硝酸或硫酸或乙酸或者甲酸中一种或者两种以上的混合。
4.根据权利要求1所述的高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,其特征在于,步骤(2)、(3)中,所述碱性水溶液选自氨水或四甲基氢氧化铵或胆碱或乙二胺或异丙胺或乙醇胺中一种或者两种以上的混合。
5.根据权利要求4所述的高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,其特征在于,所述碱性水溶液pH>8。
6.根据权利要求1所述的高纯度球形二氧化硅微粉的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,使球形硅微粉在碱性水溶液中陈化1~12小时。
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