[发明专利]一种基材运动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法

摘要

一种基材运动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法，属于等离子体技术领域，设备包括：电极、真空排气装置、气体管路、基材固定装置，基材固定装置可以在运动机构的带动下在电极形成的空间内部产生运动，通入单体蒸汽到反应腔室内，进行化学气相沉积，沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段，预处理阶段等离子体放电方式为大功率连续放电，镀膜阶段等离子体放电方式为小功率连续放电。涂层制备过程中，基材的运动特性和等离子体放电能量组合联动。制备过程中等离子体放电的同时，基材产生运动，提高了涂层沉积效率，并改善了涂层厚度的均匀性和致密性。所制备的涂层具有防水防潮，防霉菌，耐酸、碱性溶剂，耐酸、碱性盐雾等特性。

主权项

一种基材运动式等离子体放电制备纳米涂层的设备，包括：反应腔室(1)，其特征在于：还包括：用于等离子体放电的电极(2)，设置于反应腔室形成的空间内部；用于形成真空环境的抽气式真空排气装置，所述真空排气装置连接于反应腔室之上，所述真空排气装置包括排气管、一级真空泵和二级真空泵，排气管与反应腔室相连接，排气管依次连接二级真空泵和一级真空泵；用于载气和单体蒸汽通入的气体管路；用于安装基材的基材固定装置，所述基材固定装置设置于电极形成的空间内部；所述基材固定装置以非固定的方式设置于电极形成的空间内部，基材固定安装于基材固定装置之上，基材固定装置设置有运动机构，所述基材固定装置可以在运动机构的带动下在电极形成的空间内部产生运动，其运动方式包括：空间往复运动、平面往复运动、圆周运动、椭圆周运动、球面运动、行星运动或其他不规则路线的运动。