[发明专利]固化涂膜的形成方法在审
| 申请号： | 201710355622.X | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107490935A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 上杉尚之;斋藤隆英;冈本吉生 | 申请（专利权）人： | 株式会社田村制作所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙)11418 | 代理人： | 郭红丽,常殿国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供固化涂膜的形成方法，利用该方法即使在基板上形成有由电路、覆盖膜等产生的台阶部、盲导孔等凹部，也能够使涂膜的厚度均一化。固化涂膜的形成方法的特征在于，具有在涂布对象表面具有10μm～200μm的高低差的基板上，通过使用喷射点胶机的喷墨法涂布感光性树脂组合物的工序；和通过固化处理由上述涂布的感光性树脂组合物形成固化涂膜的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种固化涂膜的形成方法，其特征在于，具有：在涂布对象表面具有10μm～200μm的高低差的基板上，通过使用喷射点胶机的喷墨法涂布感光性树脂组合物的工序；和通过固化处理由所述涂布的感光性树脂组合物形成固化涂膜的工序。
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