[发明专利]一种辉光放电等离子体生成装置有效
| 申请号： | 201710348520.5 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN106954332B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 刘文正;马传龙;李治一;赵潞翔 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 11468 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种辉光放电等离子体生成装置，包括接地电极，阻挡介质，高压电极、悬浮电极和气体间隙。其中，高压电极与悬浮电极的间距小于500μm并与阻挡介质和接地电极保持平行。该电极结构接通电源后，高压电极和悬浮电极之间的微小间隙先放电，放电产生的电子为气体间隙提供初始放电电子，使存在一定电场强度的气体间隙在足够多的初始电子的作用下产生均匀的辉光放电等离子体。本发明在相同的技术条件下能够产生均匀的空气辉光放电等离子体或者等离子体射流，降低了生产成本，简化了处理装置的结构，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辉光 放电 等离子体 生成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，包括高压电极（103）和悬浮电极（104），所述悬浮电极与高压电极平行设置，高压电极（103）与悬浮电极（104）的间距小于500μm；所述辉光放电等离子体生成装置还包括接地电极（101），高压电极（103）和接地电极（101）之间设有气体间隙（105）；接通电源后，高压电极（103）和悬浮电极（104）之间的微小间隙放电，放电产生的电子为气体间隙（105）提供初始放电电子，使存在一定电场强度的气体间隙（105）在足够多的初始电子的作用下产生均匀的辉光放电等离子体；将待处理的材料从气体间隙（105）穿过，气体间隙内生成的辉光放电等离子体即对其进行处理。/n
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