[发明专利]一种辉光放电等离子体生成装置

权利要求书

1.一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，包括高压电极（103）和悬浮电极（104），所述悬浮电极与高压电极平行设置，高压电极（103）与悬浮电极（104）的间距小于500μm；所述辉光放电等离子体生成装置还包括接地电极（101），高压电极（103）和接地电极（101）之间设有气体间隙（105）；接通电源后，高压电极（103）和悬浮电极（104）之间的微小间隙放电，放电产生的电子为气体间隙（105）提供初始放电电子，使存在一定电场强度的气体间隙（105）在足够多的初始电子的作用下产生均匀的辉光放电等离子体；将待处理的材料从气体间隙（105）穿过，气体间隙内生成的辉光放电等离子体即对其进行处理。

2.一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，包括高压电极（103）和悬浮电极（104），所述悬浮电极与高压电极平行设置，高压电极（103）与悬浮电极（104）的间距小于500μm；所述辉光放电等离子体生成装置还包括接地电极（101），高压电极（103）和接地电极（101）之间设有气体间隙（105），气体间隙（105）形状为圆形、多边形或者不规则图形；所述辉光放电等离子体生成装置还包括喷气装置，喷气装置向气体间隙（105）喷出气流；接通电源后，高压电极（103）和悬浮电极（104）之间的微小间隙放电，放电产生的电子为气体间隙（105）提供初始放电电子，使存在一定电场强度的气体间隙（105）在足够多的初始电子的作用下产生均匀的辉光放电等离子体；气流通过时，由气体间隙内生成的辉光放电等离子体在气流的作用下，外侧生成辉光放电等离子体射流。

3.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述辉光放电等离子体生成装置包括多组高压电极（103）和悬浮电极（104）。

4.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述辉光放电等离子体生成装置包括多个交替排列高压电极（103）和悬浮电极（104），各个高压电极（103）和悬浮电极（104）的间距小于500μm。

5.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述悬浮电极（104）被连接到另外一个电源的高压端，通过2个电源进行供电，通过匹配高压电极（103）和悬浮电极（104）之间的电压差别来实现气体间隙的辉光放电。

6.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述接地电极（101）的形状为矩形状、薄片状、圆柱状或者不规则形状，材料为导电性能好的金属材料或者碳纤维。

7.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述辉光放电等离子体生成装置还包括阻挡介质（102），所述阻挡介质（102）位于接地电极（101）周围或者包裹住接地电极（101），外形为球状、方形状或者不规则形状，阻挡介质（102）的材料为聚四氟乙烯、硅橡胶、玻璃、陶瓷或环氧乙烯的一种。

8.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述高压电极（103）为导电性能好的金属材料或碳纤维制成的裸导体，或者为带有绝缘层包裹的导线，所述绝缘层材料为聚四氟乙烯、硅橡胶、玻璃、陶瓷或环氧乙烯。

9.根据权利要求1或2所述的一种辉光放电等离子体生成装置，其特征在于，所述悬浮电极（104）为导电性能好的金属材料或者碳纤维制成的裸导体，或者为带有绝缘层包裹的导线，所述绝缘层材料为聚四氟乙烯、硅橡胶、玻璃、陶瓷或环氧乙烯。