[发明专利]天线、包括天线的微波等离子体源、和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201710340216.6 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN107454732B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 李永光;朴龙均;李东洙;李尚宪 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01Q1/22;H01Q7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 翟然 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 发明构思的实施方式提供一种天线、包括天线的微波等离子体源、包括天线的等离子体处理装置以及半导体器件的制造方法。天线包括具有多个输出狭缝的下环以及设置在下环上的上环。上环具有从上环外部传送微波功率到下环上的输入狭缝。上环配置为关于下环旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 包括 微波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种天线，包括：具有多个输出狭缝的下环；设置在所述下环上的上环，所述上环具有输入狭缝；以及形成在所述下环和所述上环之间的空腔，其中所述输入狭缝配置为从所述上环的外部传送微波功率到所述下环上，其中所述多个输出狭缝配置为从所述空腔传送微波功率到所述下环的外部。
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