[发明专利]生产三氯硅烷的方法和设备以及生产多晶硅的方法在审
| 申请号： | 201710337482.3 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108862283A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙蔚晨;陈宗艳;雷晓青;顾小焱 | 申请（专利权）人： | 国药集团化学试剂有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李帅 |
| 地址： | 200072 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于硅材料生产技术领域，涉及生产三氯硅烷的方法和设备以及生产多晶硅的方法。具体而言，用于生产三氯硅烷的方法包括下列步骤：1)包含四氯硅烷的物质与氢进行氢化反应，得到包含三氯硅烷和超氢化氯硅烷的氯硅烷馏分；2)分馏步骤1)中得到的氯硅烷馏分，得到三氯硅烷和含有超氢化氯硅烷的混合馏分；3)将步骤2)中得到的含有超氢化氯硅烷的混合馏分循环至步骤1)。用于执行该方法的设备包括氢化反应容器(1)和分馏塔(2)。本发明中的方法和设备能够使以往被废弃的低沸点副产物在生产工艺中被循环和回收，不仅提高了原料的利用率以及三氯硅烷的产量，而且提高了多晶硅的品质，适于大规模推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯硅烷 方法和设备 多晶硅 氢化氯 硅烷 氯硅烷 生产 低沸点副产物 氢化反应容器 氢化反应 生产技术 四氯硅烷 分馏塔 硅材料 分馏 生产工艺 废弃 回收 | ||
【主权项】：
1.一种用于生产三氯硅烷的方法，其特征在于：所述方法包括下列步骤：1)氢化步骤：包含四氯硅烷的物质与氢进行氢化反应，得到包含三氯硅烷和超氢化氯硅烷的氯硅烷馏分；2)分离步骤：分馏步骤1)中得到的氯硅烷馏分，得到三氯硅烷和含有超氢化氯硅烷的混合馏分；3)循环步骤：将步骤2)中得到的含有超氢化氯硅烷的混合馏分循环至步骤1)。
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