[发明专利]蒸发装置

摘要

本发明提供一种蒸发装置，包括：壳体，以及位于所述壳体内的：多个蒸发源，所述蒸发源包括：材料腔室、加热件以及喷嘴；限制板，设置于所述蒸发源的两侧，所述限制板的高度超出所述喷嘴，相邻所述限制板之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板之间的所述喷嘴的喷料范围；其中，所述限制板连接有移动组件，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内水平移动或垂直移动，用以调节所述喷嘴的喷料范围；有益效果为：本发明的蒸发装置，具有可移动的限制板，通过调节限制板的高度及限制板与蒸发源之间的距离，可调节喷嘴的喷料范围，从而可满足基板不同的沉积需求。

主权项

1.一种蒸发装置，其特征在于，包括：壳体，以及位于所述壳体内的：多个蒸发源，用于蒸发材料以产生气体材料；所述蒸发源包括：材料腔室，用以放置材料；加热件，贴覆于所述材料腔室的外部，用以对所述材料腔室内的材料进行加热；喷嘴，位于所述蒸发源上侧，用以将气体材料喷洒至基板表面；限制板，设置于所述蒸发源的两侧，所述限制板的高度超出所述喷嘴，相邻所述限制板之间的距离与高度差，用以限制两所述限制板之间的所述喷嘴的喷料范围；所述限制板连接有移动组件，所述限制板通过所述移动组件，能够在两所述蒸发源之间的区域内移动，用以调节所述喷嘴的喷料范围；其中，所述移动组件包括：水平滑轨，设置于所述蒸发源的两端，且与所述蒸发源的宽度方向相平行；垂直滑轨，与所述蒸发源的高度方向相平行，并且，所述垂直滑轨底部通过第一驱动电机可滑移地连接至所述水平滑轨上；所述限制板的端部通过第二驱动电机可滑移地连接至所述垂直滑轨上。