[发明专利]光刻胶组合物及其制备方法、OLED阵列基板及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710335687.8 申请日: 2017-05-12
公开(公告)号: CN107024835B 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 李伟;张星;谢蒂旎 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G03F7/075 分类号: G03F7/075;H01L27/32;H01L51/56
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 彭久云
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种光刻胶组合物及其制备方法、有机发光二极管(OLED)阵列基板及其制备方法,该光刻胶组合物包括:碱可溶性树脂、感光单体、热致变色颜料和溶剂,碱可溶性树脂的质量百分含量为10wt%~30wt%,感光单体的质量百分含量为1wt%~12wt%,热致变色颜料的质量百分含量为5wt%~20wt%,溶剂的质量百分含量为40wt%~65wt%;热致变色颜料在加热的条件下颜色会加深。在由该光刻胶组合物形成像素界定层时,在对像素界定层薄膜进行后烘工序之前,其可使光线透过,以提高对位精度;在形成像素界定层的图案后,在进行后烘工序时,该像素界定层中的热致变色颜料会发生不可逆的颜色变化,以使该像素界定层的颜色加深,以实现遮光的效果。
搜索关键词: 光刻 组合 及其 制备 方法 oled 阵列
【主权项】:
一种光刻胶组合物,包括:碱可溶性树脂、感光单体、热致变色颜料和溶剂,其中,所述碱可溶性树脂的质量百分含量为10wt%~30wt%,所述感光单体的质量百分含量为1wt%~12wt%,所述热致变色颜料的质量百分含量为5wt%~20wt%,所述溶剂的质量百分含量为40wt%~65wt%;所述热致变色颜料在加热的条件下颜色会加深。
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