[发明专利]层压加热器与加热器电压输入之间的连接有效
| 申请号： | 201710321618.1 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107426837B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 奥库拉·尤马;达雷尔·欧利希;埃里克·A·佩普 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05B3/28 | 分类号： | H05B3/28;H05B3/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了层压加热器和加热器电压输入之间的连接。用于衬底处理系统的衬底支撑件包括多个加热区域、基板、布置在基板上的加热层、布置在加热层上的陶瓷层、以及通过基板、加热层并且进入到在多个加热区域中的第一区域的陶瓷层中提供的接线。电连接从多个加热区域的第一区域中的接线跨越陶瓷层布线到多个加热区域的第二区域并且到第二区域中的加热层中的加热元件。 | ||
| 搜索关键词： | 层压 加热器 电压 输入 之间 连接 | ||
【主权项】：
一种用于衬底处理系统的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：多个加热区域；基板；布置在所述基板上的加热层；布置在所述加热层上的陶瓷层；通过所述基板、所述加热层并且进入到在所述多个加热区域的第一区域中的所述陶瓷层提供的接线；从在所述第一区域的接线跨越所述陶瓷层到所述多个加热区域的第二区域并且到所述第二区域的所述加热层中的加热元件布线的电连接。
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