[发明专利]一种氮化铝陶瓷覆铜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201710317008.4 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN106958009A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 宋忠孝;唐宁 | 申请（专利权）人： | 昆山昊盛泰纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化铝陶瓷覆铜板，该覆铜板依次由氮化铝陶瓷基底、NiCr结合过渡层、脉冲磁控溅射Cu层结构组成，本发明还公开了该种氮化铝陶瓷覆铜板的制备方法，步骤如下：A、对氮化铝陶瓷基底进行清洗；B、使用磁控溅射沉积NiCr结合过渡层；C、NiCr结合过渡层上利用脉冲磁控溅射铜层；得到氮化铝陶瓷覆铜板。本发明相比一般氮化铝陶瓷金属化的结构，具有制备过程无污染，膜层质量高，结合强度大，工艺兼容性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 铜板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化铝陶瓷覆铜板，其特征在于：包括氮化铝陶瓷基底层(1)，在氮化铝陶瓷基底层(1)的表面设有中频磁控溅射沉积NiCr合金过渡层(2)，且在在NiCr合金过渡层上采用磁控溅射镀法沉积铜膜(3)。
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