[发明专利]变压器、等离子体处理装置和等离子体处理方法有效
| 申请号： | 201710287364.6 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107318212B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 山泽阳平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 11322 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种变压器。一实施方式的变压器包括旋转轴、第一线圈、第二线圈和第三线圈。旋转轴构成为能够以其中心轴线为旋转轴线进行旋转。第一线圈是一次侧的线圈，围绕与旋转轴的中心轴线正交的第一轴线延伸。第二线圈是二次侧的线圈，围绕第二轴线延伸，由旋转轴支承。第二轴线在由第一线圈包围的区域内与旋转轴的中心轴线正交。第三线圈是二次侧的线圈，围绕第三轴线延伸，由旋转轴支承。第三轴线在由第一线圈包围的区域内与旋转轴的中心轴线正交且与第二轴线成规定的角度。由此，能够精细地控制两个输出高频的电力之比。 | ||
| 搜索关键词： | 变压器 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种变压器，其特征在于，包括：/n圆柱状的旋转轴，构成为能够以其中心轴线为旋转轴线进行旋转；/n一对第一支承部件，其为彼此相对配置的一对板状的部件，所述一对第一支承部件与所述中心轴线正交，并以所述旋转轴可旋转的方式支承所述旋转轴；/n一对第二支承部件，其为彼此相对地配置于所述一对第一支承部件之间的一对圆盘状的部件，所述一对第二支承部件与所述中心轴线正交，并固定于所述旋转轴；/n一对第三支承部件，其为彼此相对地配置于所述一对第二支承部件之间的一对圆盘状的部件，所述一对第三支承部件与所述中心轴线正交，并固定于所述旋转轴；/n第一线圈，其是以交替通过所述一对第一支承部件中的一个第一支承部件的外侧和另一个第一支承部件的外侧的方式围绕与所述中心轴线正交的第一轴线延伸的一次侧的线圈；/n第二线圈，其是以交替通过所述一对第二支承部件中的一个第二支承部件的外侧和另一个第二支承部件的外侧的方式围绕第二轴线延伸，且经由所述一对第二支承部件被所述旋转轴支承的二次侧的线圈，该第二轴线在由所述第一线圈包围的区域内与所述中心轴线正交；和/n第三线圈，其是以交替通过所述一对第二支承部件中的一个第三支承部件的外侧和另一个第三支承部件的外侧的方式围绕第三轴线延伸，且经由所述一对第三支承部件被所述旋转轴支承的二次侧的线圈，该第三轴线在所述区域内与所述中心轴线正交且与所述第二轴线成规定的角度，/n所述第二线圈和所述第三线圈通过所述旋转轴的旋转而绕所述中心轴线旋转。/n
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