[发明专利]一种监控靶材消耗状况的装置及方法有效
| 申请号： | 201710285979.5 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107034441B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 刘思洋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种监控靶材消耗状况的装置，一种监控靶材消耗状况的装置，包括:靶材背板；靶材，所述靶材通过粘合层粘接到所述靶材背板上；回路组件，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路组件能够与所述靶材构成完整的回路，当所述靶材消耗至指定程度时，所述回路组件无法与所述靶材构成完整的回路。可以实时监控靶材消耗状况，最大程度利用靶材，避免靶材击穿问题发生，提高产品良率和靶材使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 消耗 回路组件 靶材背板 监控 产品良率 实时监控 使用效率 粘合层 击穿 | ||
【主权项】：
1.一种监控靶材消耗状况的装置，其特征在于，包括：靶材背板；靶材，所述靶材通过粘合层粘接到所述靶材背板上；回路组件，当所述靶材未消耗至指定程度时，所述回路组件能够与所述靶材构成完整的回路，当所述靶材消耗至指定程度时，所述回路组件无法与所述靶材构成完整的回路，所述回路组件包括：靶材测试探头，用于测试靶材的消耗状况；回路控制器，用于控制所述回路的通断电；中央控制系统，所述中央控制系统用于接受和分析所述回路的通断电状态，所述靶材测试探头依次贯穿靶材背板和粘合层并部分插入靶材。
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