[发明专利]一种超薄通孔阳极氧化铝薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201710281727.5 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN107130219B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李佳红;张文军;徐鸣 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C25D11/16;C25D11/24;C25D11/10 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米材料制备相关技术领域，其公开了一种超薄通孔阳极氧化铝薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将铝基底的表面依次进行处理后，在所述铝基底的表面沉积一层铝膜；(2)对所述铝基底进行阳极氧化反应，以得到氧化铝纳米管薄膜；(3)将所述氧化铝纳米管薄膜进行保护后，再将所述铝基底设置于饱合CuCl2溶液中进行反应以得到一端封闭的氧化铝纳米管薄膜；(4)在所述氧化铝纳米管薄膜远离所述载体的表面上滴加磷酸溶液，以使所述磷酸溶液与邻近所述阻挡层的氧化铝纳米管发生反应；(5)冲洗所述氧化铝纳米管薄膜的表面，以得到超薄通孔阳极氧化铝薄膜。上述制备方法简单易重复，降低了实验成本，且便于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝纳米管 薄膜 铝基 阳极氧化铝薄膜 通孔 制备 磷酸溶液 纳米材料制备 阳极氧化反应 表面沉积 实验成本 一端封闭 阻挡层 滴加 铝膜 冲洗 邻近 重复 | ||
【主权项】：
1.一种超薄通孔阳极氧化铝薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)提供一个铝基底，将所述铝基底的表面依次进行电化学抛光、清洗及烘干后，采用磁控溅射镀膜法在所述铝基底的表面沉积一层铝膜；(2)采用阳极氧化法对所述铝基底进行一次阳极氧化反应，以得到氧化铝纳米管薄膜，阳极氧化时间为30分钟；(3)利用普通纸片将所述氧化铝纳米管薄膜的表面覆盖，并用铜胶带将所述普通纸片粘贴固定后，再将所述铝基底设置于饱和CuCl2溶液中进行反应以去除所述铝基底，得到一端封闭的氧化铝纳米管薄膜；(4)将所述氧化铝纳米管薄膜转移到载体上，且所述氧化铝纳米管薄膜的开口端贴附于所述载体的表面上，所述氧化铝纳米管薄膜远离所述载体的表面为阻挡层，在所述阻挡层上滴加磷酸溶液，以使所述磷酸溶液与所述阻挡层的氧化铝纳米管发生反应；(5)冲洗所述氧化铝纳米管薄膜的表面，除去所述氧化铝纳米管薄膜表面的酸性离子，以得到超薄通孔阳极氧化铝薄膜。
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