[发明专利]硅片快速冷却装置

摘要

本发明提供一种硅片快速冷却装置，包括输送带以及设于输送带上用于承载硅片的铝制承载盒和用于冷却硅片的冷却机构，输送带沿长度方向上均匀设有多个承载盒，承载盒底部与输送带外表面固定连接，承载盒内设有空腔，承载盒远离输送带的一端设有开口，开口与空腔连通，承载盒内壁上铺设有一层薄膜，薄膜与承载盒内壁之间填充有冷却剂，冷却机构包括保温腔以及设于保温腔内的冷却管，保温腔沿输送带长度方向套设于输送带外侧，冷却管呈螺旋状绕设于输送带外侧，冷却管内设有冷却剂，冷却管两端与换热器连接。本发明提供的一种硅片快速冷却装置，采用承载盒以及冷却机构，提高硅片散热效率，方便硅片的后续生产，提高生产效率。

主权项

一种硅片快速冷却装置，其特征在于：包括输送带(1)以及设于所述输送带(1)上用于承载硅片的铝制承载盒(2)和用于冷却硅片的冷却机构，所述输送带(1)沿长度方向上均匀设有多个所述承载盒(2)，所述承载盒(2)底部与所述输送带(1)外表面固定连接，所述承载盒(2)内设有空腔，所述承载盒(2)远离所述输送带(1)的一端设有开口，所述开口与所述空腔连通，所述承载盒(2)内壁上铺设有一层薄膜(3)，所述薄膜(3)与所述承载盒(2)内壁之间填充有冷却剂，所述冷却机构包括保温腔(4)以及设于所述保温腔(4)内的冷却管(5)，所述保温腔(4)沿所述输送带(1)长度方向套设于所述输送带(1)外侧，所述冷却管(5)呈螺旋状绕设于所述输送带(1)外侧，所述冷却管(5)内设有冷却剂，所述冷却管(5)两端与换热器(6)连接。