[发明专利]输送装置、光刻装置及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201710207667.2 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107272346B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 松平泰尚 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供输送装置、光刻装置及物品的制造方法，所述输送装置将基板输送到载台，所述输送装置包括：保持单元，其被构造为保持并旋转所述基板；检测单元，其被构造为检测由所述保持单元保持的所述基板的高度；输送单元，其被构造为将所述基板从所述保持单元输送到所述载台；以及控制单元，其被构造为基于在所述保持单元旋转所述基板时获得的所述检测单元的检测结果，控制所述输送单元对所述基板的输送。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 光刻 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种将基板输送到载台的输送装置，所述输送装置包括：保持单元，其被构造为保持并旋转所述基板；检测单元，其被构造为检测由所述保持单元保持的所述基板的高度；输送单元，其被构造为将所述基板从所述保持单元输送到所述载台；以及控制单元，其被构造为基于在所述保持单元旋转所述基板时获得的所述检测单元的检测结果，控制所述输送单元对所述基板的输送。
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