[发明专利]一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置

摘要

本发明涉及一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积与催化反应测试装置，基于超高真空条件下挥发性和腐蚀性物质薄膜沉积装置包含有主传样腔，生长腔，三维样品操纵台，蒸发源等可用于挥发性腐蚀性物质薄膜的沉积，腔体外置组件包含进气系统，通入沉积所需化学气氛以及反应测包含抽气机组；基于超高真空条件下催化反应测试装置包括反应腔和快速进样室，反应腔包括温控样品台，样品加热源较为局域可更换式，可减小反应中背景干扰，实现不同温度下的精确的催化反应活性测试，腔体外置组件包含进气系统，可通入发生化学反应气。本发明适用于多种挥发性、腐蚀性物质薄膜的制备，与多种超高真空分析仪器进行联结，实现催化剂反应活性的精确测试。

主权项

1.一种基于超高真空条件下挥发性腐蚀性物质薄膜沉积装置，其特征在于包括：金属可密闭腔体包含生长腔体与主传样腔体，主传样腔体一端与超高真空系统相连接，另一端与生长腔体相接；位于主传样腔体内的样品转移系统，包括传样杆，实现样品在主传样腔、生长腔和超高真空系统之间的转移；位于生长腔体上的样品沉积系统，样品沉积系统包括三维驱动样品操纵台、加热片、视窗、蒸发源和真空漏阀；其中三维驱动样品操纵台位于生长腔体上，实现样品位置控制；加热片位于三维驱动样品操纵台上，实现控制样品的沉积温度；视窗位于腔体上，实现观察样品与蒸发源的角度确定；蒸发源位于腔体上，实现挥发性、腐蚀性物质的可控蒸发，真空漏阀可通入包含有腐蚀性化学气体，实现薄膜沉积要求；生长腔体上包括可扩展的真空刀口法兰，进一步集成其他表面分析仪器；主传样腔体内置红外加热灯，可实现腐蚀性与挥发性物质沉积之后的快速真空恢复；位于主传样腔体上连接的离子规，实现腔体真空度的检测；抽气系统，位于主传样腔体外，实现抽气与真空维持。