[发明专利]一种防碰撞硅片及其制备方法在审
| 申请号： | 201710178194.8 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108630614A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 刘寿华;梅有明;陈永兵;陈永林 | 申请（专利权）人： | 扬州朗日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 沈毅 |
| 地址： | 225800 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种防碰撞硅片及其制备方法，包括硅片主体，硅片主体为圆盘状，硅片主体外沿粘结有加强边，加强边材料为尼龙，加强边宽度为0.2cm，制备步骤为将硅料加入高温熔炉中进行加热制取多晶硅；将多晶硅放置在掺杂铂的溶液中制取掺杂铂的多晶硅；对掺杂铂的多晶硅进行切割并利用双氧水进行清洗；将清洗干净的多晶硅添加固化剂和还原剂完成制备，通过尼龙加强边增加硅片边缘强度，且通过上述制备方法可以提高多晶硅片的转换效率，保证产品合格率，同时降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 硅片 制备 加强边 掺杂 防碰撞 尼龙 制取 清洗 双氧水 半导体技术领域 产品合格率 多晶硅片 高温熔炉 硅片边缘 主体外沿 转换效率 固化剂 还原剂 圆盘状 硅料 粘结 加热 切割 保证 | ||
【主权项】：
1.一种防碰撞硅片，包括硅片主体（1），其特征是，所述硅片主体（1）为圆盘状，硅片主体（1）外沿粘结有加强边（2），加强边（2）材料为尼龙，加强边（2）宽度为0.2cm。
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