[发明专利]金属膜蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201710157264.1 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN107447217A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 刘仁浩;朴英哲;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 金鲜英,宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属膜蚀刻液组合物，其包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、有机酸、有机酸盐、甲基四唑、脂肪族烷基磺酸和水。该金属膜蚀刻液组合物具有处理张数优异的效果，能够延长蚀刻液组合物的使用周期，并且不包含作为环境管理物质的苯酚类而环保。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种金属膜蚀刻液组合物，其包含过硫酸盐、氟化合物、无机酸、有机酸、有机酸盐、甲基四唑、脂肪族烷基磺酸和水。
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