[发明专利]一种周期性多层结构的二硼化钛-二硼化锆涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201710141869.1 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106987800B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 代伟;高翔;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于表面防护技术及相关涂层技术领域，公开了一种周期性多层结构的二硼化钛‑二硼化锆涂层及其制备方法和应用。该涂层是以二硼化钛陶瓷靶和二硼化锆陶瓷靶为原料，通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成由二硼化钛纳米陶瓷层与二硼化锆纳米陶瓷层周期性相互叠加而成。本发明涂层由于引入了纳米多层的结构，多层膜的摩擦系数低于两种单层的摩擦系数，其与GCr15钢球的摩擦系数低于0.30，从而表现出优异的耐摩擦性能，可作为保护涂层，用于那些即要求高硬度、又具有高耐摩擦性能的工程应用场合，如机械零部件、刀模具等产品表面的防护；操作方便，工艺简单，制备周期短，成本低，便于大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 多层 结构 二硼化钛 二硼化锆 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种周期性多层结构的二硼化钛‑二硼化锆涂层，其特征在于：该涂层是以二硼化钛陶瓷靶和二硼化锆陶瓷靶为原料，通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成由二硼化钛纳米陶瓷层与二硼化锆纳米陶瓷层周期性相互叠加而成；所述二硼化钛‑二硼化锆涂层的总厚度为1000～1200nm；所述涂层以相邻的二硼化钛纳米陶瓷层和二硼化锆纳米陶瓷层为一个周期，每周期层厚5～30nm，周期性多层结构的周期数为50～200层。
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