[发明专利]研磨装置以及研磨方法有效
| 申请号： | 201710087454.0 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN107097146B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 上村健司;小林贤一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/11;B24B37/30;B24B37/34;B24B21/06;B24B21/20;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够检测研磨器具是否与晶片等基板接触，进而能够进行研磨器具的位置检测的研磨装置以及研磨方法。研磨装置具有：保持基板(W)的基板保持部(32)；用于将研磨器具(42)向基板W的面按压的按压部件(44)；对按压部件(44)施加按压力的致动器(45)；使按压部件(44)沿着基板(W)的面移动的马达驱动型移动装置(55)；在向马达驱动型移动装置(55)供给的马达电流小于阈值的情况下，发出警报的监视装置(65)。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，其特征在于，具有：基板保持部，保持基板；按压部件，用于将研磨器具向所述基板的面按压；致动器，对所述按压部件施加按压力；马达驱动型移动装置，使所述按压部件沿着所述基板的面移动；以及监视装置，在向所述马达驱动型移动装置供给的马达电流小于阈值的情况下，发出警报。
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