[发明专利]MEMS装置以及液体喷射头有效
| 申请号： | 201710063629.4 | 申请日： | 2017-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN107020819B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 平井荣树;高部本规;塚原克智;长沼阳一;西面宗英 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可靠性较高的MEMS装置以及液体喷射头。MEMS装置的特征在于，具备：多个可动区域(35)；配线(37)，其从可动区域(35)起沿着第一方向(x)延伸；电极(41)，其与配线(37)连接，电极(41)具有与其他的电极端子(40)连接的连接区域(57)，连接区域(57)沿着与第一方向(x)交叉的第二方向(y)而配置有多个，在第二方向(y)上相邻的连接区域(57)的中心间的距离长于在第二方向(y)上相邻的可动区域(35)的中心间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 以及 液体 喷射 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，其特征在于，具备：多个可动区域；配线，其从所述可动区域起沿着第一方向延伸；电极，其与所述配线连接，所述电极具有与其他的电极端子连接的连接区域，所述连接区域沿着与所述第一方向交叉的第二方向而配置有多个，在所述第二方向上相邻的所述连接区域的中心间的距离长于在所述第二方向上相邻的所述可动区域的中心间的距离。
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