[发明专利]一种ITO管状靶材的制备方法

摘要

本发明公开一种ITO管状靶材的制备方法，以ITO纳米粉末为原料，利用旋转模具和超声波振动装置对制备好的ITO浆料进行脱水及成型，得到ITO靶材素坯，将该素坯在低温下进行脱脂处理，然后将脱脂素坯在一定的烧结条件下烧结得到ITO管状靶材；其优点在于工艺更容易进行自动化生产，降低了劳动强度和劳动力成本，所制备的ITO旋转靶材产品组织结构均匀、稳定，致密度高，能够满足下游企业的应用要求，具有良好的市场前景。

主权项

一种ITO管状靶材的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：（1）将ITO纳米粉末与粘结剂、水进行混合，混合后浆料中固相的质量百分比为65%~70%、粘结剂的质量百分比为1%~2%、余量为水；（2）将步骤（1）的浆料以19mL/min~23mL/min的速率注入到以8000r/min~10000r/min的速率转动的模具中，注浆完成后模具持续转动10min~15min，接着将模具超声振动30s~50s，超声功率为1kw~1.5kw，脱模得到ITO管状靶素坯；（3） 将步骤（2）得到的ITO管状靶素坯进行脱脂处理，脱脂处理工艺为：以50℃/h~60℃/h的升温速率升温至600℃~650℃，且每升高100℃保温1h~1.5h，随后以10℃/h的降温速率冷却至室温；（4）将步骤（3）脱脂处理后的产物在氧分压‑0.02MPa~0.04MPa下，按以下工艺路线进行烧结，以200℃/h~500℃/h的升温速率升温至500℃~550℃后保温一小时，以同样的升温速率升温至800℃~850℃后保温一小时，以同样的升温速率升温至1000℃保温一小时，以400℃/h~550℃/h的升温速率升温至1450℃~1600℃，保温6h~8h，随炉冷却至室温，可得ITO管状靶材。