[发明专利]对位平台的误差补偿方法

摘要

本发明涉及一种对位平台的误差补偿方法。上述对位平台的误差补偿方法，在测试步骤得到用于补偿的数据，在补偿步骤根据测试步骤得到的数据和预设行程进行补偿行程，从而提高了对位平台的精度。具体的，根据ΔXn和ΔXm的差值，以及n1和m1的差值，可以得到第一方向机械加工误差与行程之间的线性变化关系，从而用于补偿第一方向机械加工误差。同理，根据ΔYn和ΔYm的差值，以及n2和m2的差值，可以得到第二方向机械加工误差与行程之间的线性变化关系，从而用于补偿第二方向机械加工误差。ΔX、ΔY为回程误差的平均值，可以用于补偿平台反向移动时的回程误差。上述方法补偿了平台移动过程中的加工误差和回程误差，因此提高了对位平台的精度。

主权项

1.一种对位平台的误差补偿方法，其特征在于，包括测试步骤和补偿步骤；所述测试步骤，包括如下步骤：平台在第一方向移动时，多次测量行程为m1、行程为n1和行程为m1与n1之间的数值时的实测误差；计算在行程为m1、行程为n1和行程为m1与n1之间的数值时的实测误差的平均值ΔX；计算在行程为m1时的实测误差的平均值ΔXn；计算在行程为n1时的实测误差的平均值ΔXm；平台在第二方向移动时，多次测量行程为m2、行程为n2和行程为m2与n2之间的数值时的实测误差；以及计算在行程为m2、行程为n2和行程为m2与n2之间的数值时的实测误差的平均值ΔY；计算在行程为m2时的实测误差的平均值ΔYn；计算在行程为n2时的实测误差的平均值ΔYm；所述补偿步骤，包括如下步骤：将平台的移动分解为沿所述第一方向的移动和沿所述第二方向的移动；若平台沿所述第一方向的正向移动预设行程X1，则补偿行程x1’，其中x1’＝(ΔXm‑ΔXn)/(n1‑m1)*X1；若平台沿所述第一方向的反向移动预设行程X2，则补偿行程x2’，其中x2’＝(ΔXm‑ΔXn)/(n1‑m1)*X2+ΔX；若平台沿所述第二方向的正向移动预设行程Y1，则补偿行程y1’，其中y1’＝(ΔYm‑ΔYn)/(n1‑m1)*Y1；若平台沿所述第二方向的反向移动预设行程Y2，则补偿行程y2’，其中y2’＝(ΔYm‑ΔYn)/(n1‑m1)*Y2+ΔY。