[发明专利]聚金属氧烷、其制造方法、其组合物、固化膜和其制造方法以及具备其的构件和电子部件

摘要

提供具有下述通式(1)所示的构成单元的聚金属氧烷，且在溶液中透明、在均一的状态下稳定地存在、能形成均质的固化膜的聚金属氧烷。[化1](R1为有机基，R1的至少一个为(R33SiO−)基。R3任选自特定的基团。R2任选自特定的基团。R1、R2和R3存在多个时，可以各自相同，也可以不同。M表示特定的金属原子。m为表示金属原子M的价数的整数,a为1〜(m−2)的整数。)。

主权项

1.具有下述通式(1)所示的构成单元的聚金属氧烷，[化1]R1为有机基团，R1的至少一个为(R33SiO−)基；R3任选自羟基、碳原子数1〜12的烷基、碳原子数5〜12的脂环式烷基、碳原子数1〜12的烷氧基、碳原子数6〜30的芳族基、具有硅氧烷键的基团或具有金属氧烷键的基团；R2任选自氢原子、碳原子数1〜12的烷基、或具有金属氧烷键的基团；R1、R2和R3存在多个时，可以各自相同，也可以不同；M表示选自Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Tl和Bi的金属原子；m为表示金属原子M的价数的整数，a为1〜(m−2)的整数。