[发明专利]具有传感器的设备以及执行目标测量的方法有效
| 申请号： | 201680059924.6 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108139695B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 叶红;G·J·尼杰梅杰 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于测量目标(例如，对准标记(例如，在衬底上))的方法和设备。在“飞入”方向执行目标与测量系统的测量斑点之间的相对运动(例如，目标朝向测量斑点的运动)，使得可以进行针对目标的第一测量。之后，在相反的“飞入”方向进行目标与测量斑点之间的相对运动，使得可以进行针对目标的第二测量。通过对这两个测量进行组合(例如，平均)，消除误差，并且可以实现更高的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 传感器 设备 以及 执行 目标 测量 方法 | ||
【主权项】：
一种测量目标的方法，所述方法包括：在第一方向上执行所述目标与测量设备的测量斑点之间的第一相对运动；在所述第一相对运动之后，至少部分地在所述测量斑点位于所述目标上时或者为了使所述测量斑点变得位于所述目标上，在第二方向上执行所述测量斑点与所述目标之间的第二相对运动；在所述第二相对运动期间或之后，使用所述目标上的所述测量斑点，针对所述目标执行第一测量；在所述第一测量之后，在与所述第一方向实质上相反的方向上执行所述目标与所述测量斑点之间的第三相对运动；在所述第三相对运动之后，至少部分地在所述测量斑点位于所述目标上时或者为了使所述测量斑点变得位于所述目标上，在所述第二方向上执行所述测量斑点与所述目标之间的第四相对运动；以及在所述第四相对运动期间或之后，使用所述目标上的所述测量斑点，针对所述目标执行第二测量。
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