[外观设计]半导体制造装置用静电吸盘用吸附板有效
| 申请号： | 201630168565.0 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN303912674S | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 石川聪;石田寿文;野上达 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | 15-09 | 分类号： | 15-09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称：半导体制造装置用静电吸盘用吸附板。2．本外观设计产品的用途：用于半导体制造装置的静电吸盘用吸附板。3．本外观设计的设计要点：产品的形状。4．最能表明设计要点的视图：主视图。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 装置 静电 吸盘 吸附 | ||
【主权项】：
暂无信息
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